全自動(dòng)Slug腐蝕機(jī)是一種用于半導(dǎo)體行業(yè)的高精度設(shè)備，?主要用于清洗工藝中去除刻蝕后的光刻膠殘?jiān)?/span>?這種機(jī)器在處理高濃度離子注入的光刻膠時(shí)，?能夠有效地應(yīng)對(duì)技術(shù)難點(diǎn)，?如去除難度大的碳化硬殼。全自動(dòng)Slug腐蝕機(jī)的電氣控制部分采用進(jìn)口件，?性能可靠且使用壽命長，?背部設(shè)有吸風(fēng)口，?需要外接風(fēng)管抽風(fēng)以防止污染空氣。?這種人機(jī)界面（?觸摸屏）?加PLC控制的系統(tǒng)使得操作簡單便捷，?是半導(dǎo)體行業(yè)中的重要設(shè)備之一。
1. 工作原理
?全自動(dòng)Slug腐蝕機(jī)通過高技術(shù)的BOE腐蝕機(jī)，?利用注入的陽離子與光刻膠中的碳形成強(qiáng)化學(xué)鍵，?使光刻膠表面高度交聯(lián)，?形成一層高度致密、?耐腐蝕的碳化硬殼，?從而大大增加光刻膠的去除效率。
2. 工作流程
?生產(chǎn)線包括上料臺(tái)、?MAE酸槽、?QDR槽等多個(gè)制程工位，?通過全自動(dòng)控制系統(tǒng)，?操作者只需將清洗花籃放置于上料工位上，?由PLC控制的機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位，?按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。?這種全自動(dòng)化的操作不僅提高了工作效率，?還保證了處理的質(zhì)量和一致性。?
3. 清洗能力
8（12）inch 1 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
4. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1) 自動(dòng)化程度高：?全自動(dòng)Slug腐蝕機(jī)采用人機(jī)界面（?觸摸屏）?加PLC控制，?操作者只需將清洗花籃放置于上料工位上，?然后由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位，?按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。?這種全自動(dòng)化的操作大大減少了人工干預(yù)，?提高了生產(chǎn)效率。?
2) 操作簡便：?設(shè)備的用戶界面非常簡單，?方便用戶進(jìn)行程序設(shè)定和操作。?這降低了操作難度，?即使是沒有專業(yè)背景的操作人員也能快速上手，?減少了培訓(xùn)成本和時(shí)間。?
3) 生產(chǎn)效率高：?通過高壓噴淋及被蝕刻板直線運(yùn)動(dòng)形成連續(xù)不間斷進(jìn)料狀態(tài)，?加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度，?無論在蝕刻效果、?速度和改善操作者的環(huán)境及方便程度，?都優(yōu)于潑濺式蝕刻。?這種設(shè)計(jì)顯著提高了生產(chǎn)效率。?
4) 生產(chǎn)環(huán)境改善：?設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口件，?性能可靠，?使用壽命長。?背部設(shè)有吸風(fēng)口，?為防止污染空氣，?用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。?這樣的設(shè)計(jì)不僅提高了工作環(huán)境的安全性，?還有效地減少了環(huán)境污染。?
5) 可靠的性能：?易腐蝕部件均有罩子保護(hù)，防止藥液腐蝕。?具有完備的自診斷功能，?包括預(yù)警信息、?日常維護(hù)提醒和自動(dòng)安全關(guān)機(jī)等，?確保了設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和用戶的安全。?
5. 產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 工藝說明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過程全自動(dòng)進(jìn)行；
2) 全程自動(dòng)化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
3) 搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；
4) 搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
5) 溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
6) 工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
7) 整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
8) 整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
9) 整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
10) 整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
11) 機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
12) 整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
13) 清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
14) 設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
15) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
16) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
17) 搬運(yùn)機(jī)械手抓驅(qū)動(dòng)部分為電機(jī)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)完成動(dòng)作并配有傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測,抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；
18) 搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；
19) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
20) 機(jī)臺(tái)上料下料區(qū)各配水***2把；
21) 機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
22) 機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
23) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
6. 安裝及售后
1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。
2) 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
3) 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時(shí)內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時(shí)到現(xiàn)場反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶請(qǐng)求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場。
4) 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。