?RCA清洗機(jī)的操作方式包括手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)，?可清洗尺寸范圍為2吋---12吋晶圓。?設(shè)備采用槽式清洗方式，?主體材質(zhì)為鍍鋅碳鋼框架，?外包進(jìn)口PP、?PVC板，?槽體材質(zhì)包括石英、?PVDF、?PTFE、?NPP等。?該清洗機(jī)具備±1℃的溫控精度，?以及多項(xiàng)安全防護(hù)措施，?如自動(dòng)安全門、?漏液報(bào)警、?漏電保護(hù)、?液位保護(hù)、?急停、?聲光報(bào)警系統(tǒng)等。?此外，?該設(shè)備還支持模塊化設(shè)計(jì)，?滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求，?具有可編程菜單，?方便用戶操作，?實(shí)時(shí)流程顯示，?可控性強(qiáng)，?多級(jí)權(quán)限密碼管理，?可自動(dòng)保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)，?并支持遠(yuǎn)程控制功能。?藥液管理系統(tǒng)（?自動(dòng)供液、?自動(dòng)補(bǔ)液、?循環(huán)過濾）?、?在線加熱、?甩干、?電導(dǎo)率檢測(cè)、?恒溫系統(tǒng)、?百級(jí)FFU等也是該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)的功能之一。
適用范圍
?適用于半導(dǎo)體材料、?集成電路、?MEMS、?LED芯片、?功率器件等領(lǐng)域。
清洗能力
6inch； 1cassette/Batch 25Pcs/cassette
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1) 操作便捷性：?半自動(dòng)RCA清洗機(jī)提供了手動(dòng)和半自動(dòng)的操作方式，?這種設(shè)計(jì)使得設(shè)備的操作更加簡(jiǎn)單易行。?用戶可以通過簡(jiǎn)單的操作步驟完成清洗任務(wù)，?無需復(fù)雜的設(shè)置和調(diào)整，?從而節(jié)省了操作時(shí)間，?提高了工作效率。?
2) 成本效益：?相比于全自動(dòng)設(shè)備，?半自動(dòng)RCA清洗機(jī)的成本更低。?它不需要高度自動(dòng)化的控制系統(tǒng)，?因此在購(gòu)買和維護(hù)方面的成本相對(duì)較低。?此外，?半自動(dòng)設(shè)備通常更適合小規(guī)模生產(chǎn)或特定應(yīng)用場(chǎng)景，?能夠在保證清洗效果的同時(shí)，?降低運(yùn)營(yíng)成本。?
3) 適用性：?半自動(dòng)RCA清洗機(jī)適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域，?包括半導(dǎo)體材料、?集成電路、?MEMS、?LED芯片、?功率器件等。?其適用的清洗工藝包括SC-1、?SC-2、?SPM、?BOE、?超聲(兆聲)清洗、?QDR等，?能夠滿足不同材料的清洗需求。?這種設(shè)備的廣泛應(yīng)用證明了其強(qiáng)大的適用性和靈活性.
產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 機(jī)臺(tái)電氣部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；
2) 機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
3) 機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
4) 工藝記錄儲(chǔ)存：完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲(chǔ)，便于采購(gòu)方對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控；程序運(yùn)行記錄可定時(shí)存儲(chǔ)，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號(hào)、操作者、槽體溫度、設(shè)定時(shí)間、運(yùn)行時(shí)間、報(bào)警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運(yùn)行記錄；具備可寫功能；
5) 定制機(jī)械臂配有拋動(dòng)功能，位置及頻率可調(diào)；
6) 整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)；氣體過低警報(bào)：CDA氣源有sensor壓力過低警報(bào)，多段式N2 Level sensor也有警報(bào)；Exhaust設(shè)有壓差表及I0警報(bào)，當(dāng)抽氣量不足時(shí)便Alarm;Alarm值可調(diào)整設(shè)定；DIW過低警報(bào)；
7) 機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
8) 工藝槽工作區(qū)域與機(jī)臺(tái)控制外配有安全防護(hù)裝置，防止搬運(yùn)機(jī)械手對(duì)操作人員的意外損傷；
9) 溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
10) 工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
11) 整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤(rùn)滑的零件必須密封處理；
12) 整機(jī)采用PLC控制，顯示屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超（兆）聲低液位保護(hù)；
13) 整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
14) 整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電氣元件正常安全使用；
15) 機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
16) 整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，最低處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
17) 清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
18) 設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
19) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
20) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
21) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
22) 槽體具有換液提示功能，換液工藝參數(shù)可設(shè)定，可按照批次（by lot）也可按照時(shí)間（by time）進(jìn)行換液提示，換液方式手動(dòng)；
23) 設(shè)備各槽體包含robot需要能單獨(dú)切至手動(dòng)模式，設(shè)備報(bào)警記錄禁止刪除，報(bào)警記錄有發(fā)生事件和報(bào)警消除時(shí)間信息包含，月日時(shí)分秒；
24) Exhaust系統(tǒng):槽體后方（酸堿排氣分開配置）
安裝及售后
i. 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試設(shè)備。
ii. 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
iii. 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時(shí)內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶請(qǐng)求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。
iv. 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。