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槽式濕法制程設(shè)備
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全自動EKC機(jī)臺

全自動EKC機(jī)臺指的是一種特定的清洗設(shè)備,?其中“EKC”是這種設(shè)備的品牌或型號標(biāo)識。?濕法EKC去膠工藝是一種常見的表面處理工藝,主要用于去除電鍍、噴涂、涂覆等工藝中產(chǎn)生的膠層或雜質(zhì),以提高表面質(zhì)量和增強(qiáng)涂層附著力。在電子工業(yè)中,?清洗設(shè)備對于保持生產(chǎn)環(huán)境的清潔度和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。?全自動EKC機(jī)臺能夠根據(jù)客戶需求定制,?包括但不限于RCA清洗機(jī)、?石英管清洗機(jī)、?BOE腐蝕機(jī)、?CDS系統(tǒng)、?供酸系統(tǒng)、?芯片清洗機(jī)、?去蠟機(jī)、?濕法清洗臺、?IPA干燥機(jī)、?Slurry供液系統(tǒng)、?拋光液供液系統(tǒng)、?研磨液供液系統(tǒng)等。?這些設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,?以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。


工作原理

EKC(化學(xué)機(jī)械拋光)是一種常用的半導(dǎo)體制程中用于去除多余的材料的工藝。Polymer(聚合物)在半導(dǎo)體制程中常常用作光刻膠或者其他材料的研磨。在EKC去除Polymer的過程中,通常會涉及到以下幾個(gè)步驟和原理:

1. 選擇合適的化學(xué)溶液,EKC去除Polymer的過程中,需要選擇合適的化學(xué)溶液,通常是一種含有氧化劑和酸性物質(zhì)的溶液。這些化學(xué)物質(zhì)能夠與Polymer發(fā)生化學(xué)反應(yīng),使其溶解或者變得容易去除。

2. 化學(xué)反應(yīng)原理,EKC去除Polymer的過程中,溶液中的氧化劑和酸性物質(zhì)會與Polymer發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。例如,氧化劑可以氧化Polymer的分子鏈,使其變得容易分解;酸性物質(zhì)可以使Polymer發(fā)生酸堿中和反應(yīng),降低其分子量,從而溶解或者變得容易去除。

3. 機(jī)械作用原理,除了化學(xué)作用外,EKC去除Polymer的過程中也會涉及到機(jī)械作用。通過在化學(xué)溶液進(jìn)行機(jī)械拋動,可以加速化學(xué)溶液與Polymer的接觸,促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行,從而更快地去除Polymer。

4. 控制參數(shù),在EKC去除Polymer的過程中,需要控制好溶液的濃度、溫度、PH值等參數(shù),以確?;瘜W(xué)反應(yīng)能夠有效進(jìn)行,并且避免對其他材料造成損害。

工作流程

濕法EKC去膠工藝通常包括以下幾個(gè)步驟:

1. 預(yù)處理,首先對待處理的工件進(jìn)行清洗和去油處理,以確保表面干凈無雜質(zhì)。

2. 酸洗,將工件浸泡在酸性溶液中,通過酸性溶液的化學(xué)作用去除表面的氧化物和雜質(zhì)。

3. EKC去膠,EKC是指電解化學(xué)去膠,是一種利用電解原理和化學(xué)溶劑共同作用的去膠方法。在電解液中加入適量的化學(xué)溶劑,通過電解去除表面的膠層或雜質(zhì)。這一步需要控制電解條件,如電流密度、溫度、PH值等,以確保去膠效果和避免對工件表面造成損傷。

4. 中和清洗,將處理后的工件進(jìn)行中和清洗,以中和殘留在表面的化學(xué)溶劑和電解液,避免對后續(xù)工藝造成影響。

5. 烘干,最后對工件進(jìn)行烘干處理,確保表面干燥無水漬。

濕法EKC去膠工藝在實(shí)際應(yīng)用中需要根據(jù)具體工件材質(zhì)、膠層性質(zhì)、工藝要求等因素進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化,以達(dá)到最佳的去膠效果。同時(shí),對于工藝廢液的處理和環(huán)保要求也需要引起重視,合理處理廢液,減少對環(huán)境的影響。在實(shí)際操作中,操作人員需要嚴(yán)格按照工藝要求進(jìn)行操作,確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。

安裝及售后

i. 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。

ii. 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn),培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。

iii. 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù),一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi),提供7*24小時(shí)內(nèi)電話支持服務(wù),24小時(shí)到現(xiàn)場反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場。

iv. 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。


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