12寸堿腐蝕機(jī)主要用于對(duì)硅片（?特別是12寸硅片）?進(jìn)行均一可控的腐蝕處理。?這種處理通常是在Lapping（?研磨）?之后進(jìn)行，?目的是改善硅片的TTV（?Total Thickness Variation，?總厚度變化）?表現(xiàn)，?并可能根據(jù)客戶需求兼?zhèn)湟欢ǖ那逑垂δ?/span>。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 溫度范圍：?通常會(huì)有一定的溫度控制范圍，?如室溫+5℃～55℃，?以確保腐蝕過(guò)程的穩(wěn)定性和可控性。?
2) 溫度均勻度與波動(dòng)度：?這些參數(shù)對(duì)于保證腐蝕的均勻性至關(guān)重要，?如溫度均勻度≤2℃，?溫度波動(dòng)度≤±0.5℃。?
3) 噴淋與過(guò)濾系統(tǒng)：?采用高壓噴淋系統(tǒng)，?可能配備供液過(guò)濾和下料過(guò)濾，?以提高腐蝕效率和均勻性。?
4) 控制系統(tǒng)：?包括蝕刻開(kāi)關(guān)、?單雙面蝕刻控制開(kāi)關(guān)、?自動(dòng)溫控等，?以實(shí)現(xiàn)精確的腐蝕控制2。?產(chǎn)能與搬運(yùn)方式：?產(chǎn)能會(huì)根據(jù)具體的工藝流程和腐蝕量而定，?搬運(yùn)方式可能包括cassette（?盒式）?或cassette less（?無(wú)盒式）?。
應(yīng)用場(chǎng)景
12寸堿腐蝕機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、?光伏產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域，?是硅片加工過(guò)程中不可或缺的設(shè)備之一。?通過(guò)精確的腐蝕處理，?可以顯著提升硅片的表面質(zhì)量和性能，?滿足高端制造的需求。
注意事項(xiàng)
l 在使用12寸堿腐蝕機(jī)時(shí)，?應(yīng)嚴(yán)格遵守操作規(guī)程和安全規(guī)范，?確保人員和設(shè)備的安全。
l 定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，?以延長(zhǎng)設(shè)備壽命和保持性能穩(wěn)定。?
l 根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的型號(hào)和配置，?以達(dá)到最佳的腐蝕效果和經(jīng)濟(jì)效益。
安裝及售后
i. 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試設(shè)備。
ii. 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問(wèn)題的分析和緊急處理程序。
iii. 無(wú)償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時(shí)內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶請(qǐng)求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。
iv. 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。