山東萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)再添半導(dǎo)體項(xiàng)目

近日，山東萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管委會(huì)與上海衍梓智能科技有限公司薄膜沉積設(shè)備項(xiàng)目簽約儀式在萊西市行政辦公中心舉行。

萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)消息，近日，山東萊西經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管委會(huì)與上海衍梓智能科技有限公司薄膜沉積設(shè)備項(xiàng)目簽約儀式在萊西市行政辦公中心舉行。

據(jù)介紹，上海衍梓智能科技有限公司專注于半導(dǎo)體核心工藝——化學(xué)薄膜沉積設(shè)備制造生產(chǎn)，其核心產(chǎn)品VPE反應(yīng)爐已實(shí)現(xiàn)自主可控，解決了國內(nèi)半導(dǎo)體薄膜沉積行業(yè)“卡脖子”問題。萊西項(xiàng)目總投資5億元，投產(chǎn)后將成為該行業(yè)全國第三家、山東省首家接入芯片頭部企業(yè)生產(chǎn)線并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的半導(dǎo)體薄膜沉積裝備公司。

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