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晶圓代工是什么?圖解晶圓代工流程!

時(shí)間: 2023-09-21瀏覽次數(shù):194
  

晶片是用來(lái)干嘛的?為什么日常生活中會(huì)用到晶片呢?晶片這么重要嗎?晶圓又是什么呢?

晶片是用來(lái)干嘛的?為什么日常生活中會(huì)用到晶片呢?晶片這么重要嗎?晶圓又是什么呢?

在過(guò)去,需要將電晶體、二極體、電阻、電容等電子元件焊接成電路,并將這個(gè)能執(zhí)行簡(jiǎn)單邏輯運(yùn)算的電路裝置在電子產(chǎn)品上,才能夠讓電子產(chǎn)品順利運(yùn)作,然而手工焊接不僅成本高且耗時(shí),效果也不理想。后來(lái)德州儀器的工程師–杰克·基爾比,便想到如果能夠事先設(shè)計(jì)好電路圖,然后照電路圖將所有電子元件整合在矽晶元上,便能解決手工焊接的難題,而這就是全世界第一個(gè)“集成電路”也就是我們常聽(tīng)到的IC(IntegratedCircuit)的由來(lái)。

集成電路發(fā)明后,技術(shù)也開(kāi)始高速發(fā)展,一個(gè)晶片從原本僅能塞不到五個(gè)電晶體,到后來(lái)可以塞下數(shù)億個(gè)電晶體。而電晶體縮得越小,除了更低的能耗、延遲以及更高的效能外,也讓晶片隨之縮小,電子產(chǎn)品也能越來(lái)越小。如今這些優(yōu)點(diǎn)正反應(yīng)在電子產(chǎn)品上,讓生活越來(lái)越方便。

晶圓代工是什么?

晶圓代工(Foundry)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的一種商業(yè)模式,指接受其他無(wú)廠半導(dǎo)體公司(Fabless)委托、專門從事晶圓成品的加工而制造集成電路,并不自行從事產(chǎn)品設(shè)計(jì)與后端銷售。下面帶你認(rèn)識(shí)晶圓代工的流程。

晶圓代工流程一:矽晶圓生產(chǎn)

晶片最偉大的貢獻(xiàn),莫過(guò)于將原本僅能執(zhí)行0和1的邏輯運(yùn)算(注)的電晶體,集合在一起形成具有強(qiáng)大處理能力的運(yùn)算中樞,而連結(jié)這些電晶體的基板就是“矽”這個(gè)元素。

之所以會(huì)選擇“矽”作為IC的主要原料,是因?yàn)槲谧匀唤缰袑儆凇鞍雽?dǎo)體”,也就是導(dǎo)電性介于導(dǎo)體與絕緣體的存在,可以借由加入雜質(zhì),來(lái)調(diào)整半導(dǎo)體的導(dǎo)電性,進(jìn)而控制電流是否流通,達(dá)到訊號(hào)切換的功能,換句話說(shuō)就是讓晶片能夠順利執(zhí)行0和1的運(yùn)算,而能操控電子產(chǎn)品。

矽晶圓的制造流程簡(jiǎn)化來(lái)說(shuō)就是將“矽”加工至可用來(lái)放置電子元件的“矽晶圓”:

純化:矽的前身是石英砂,里面含有許多雜質(zhì),因此需要將其純化,主要方式為將石英砂加入碳并加熱還原成冶金級(jí)矽,隨后將其丟入反應(yīng)爐中與氯化氫以及氫氣反應(yīng)形成多晶矽。

拉晶:將多晶矽置入單晶爐中,透過(guò)加熱處理、接入晶種(注1)后,就可以從中拉出半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需的“單晶矽柱”(矽晶柱),上面會(huì)有可擺放電晶體的“矽晶格”,也因此矽晶柱的品質(zhì)掌控對(duì)于晶圓廠來(lái)說(shuō)至關(guān)重要,拉晶的速度、溫度的控制等等因子都有可能大大影響到最后的生產(chǎn)品質(zhì),而矽晶柱直徑越大,拉晶也就越難。(注2)


注1:這邊的晶種指的是一小塊單晶矽,透過(guò)將晶種與熔融物接觸并冷卻凝固,借此形成大晶體,目的是讓晶圓的原子排列能與晶種相同。

注2:?jiǎn)尉c多晶矽的區(qū)別:當(dāng)矽原子以金剛石晶格排列成許多晶核時(shí),如果各個(gè)晶核的晶面取向相同,則稱為單晶矽,如果晶面取向不同,則稱為多晶矽,在電學(xué)性質(zhì)表現(xiàn)上,單晶矽優(yōu)于多晶矽,因此在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中多采用單晶矽作為主要原料。

到這邊為止,安置電子元件的基板–矽晶圓便完成了,而我們常在新聞中看到的8寸晶圓廠、12寸晶圓廠,指的其實(shí)就是矽晶圓的直徑,不過(guò),為什么要特地分成8寸、12寸或是X寸呢?

8寸晶圓 vs 12寸晶圓

其實(shí)關(guān)鍵就在于“生產(chǎn)成本”。簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)運(yùn)算就可知道,一片12寸晶圓的表面積是一片8寸晶圓的2.25倍,也就是說(shuō)在相同良率下,12寸晶圓廠的生產(chǎn)效率會(huì)是8寸晶圓廠的2.25倍,因此只要兩種晶圓尺寸的生產(chǎn)成本差距在2.25倍以下的話,生產(chǎn)12寸晶圓便會(huì)比生產(chǎn)8寸晶圓來(lái)的有優(yōu)勢(shì),故生產(chǎn)12寸晶圓其實(shí)是較為先進(jìn)的技術(shù)。

12寸晶圓廠較有生產(chǎn)效率,為什么還要保留8寸晶圓廠?

前面提到,12寸晶圓廠的產(chǎn)量平均來(lái)說(shuō)會(huì)是8寸晶圓廠的兩倍多,因此在產(chǎn)能滿載的前提下,12寸廠比較符合成本效益,然而對(duì)于某些客戶集中在利基市場(chǎng)的廠商來(lái)說(shuō),不見(jiàn)得有足夠的出貨量去支撐12寸廠帶來(lái)的額外產(chǎn)能,因此對(duì)這些廠商來(lái)說(shuō),也就沒(méi)必要花更多的資金投資技術(shù)門檻更高的12寸廠。

8寸晶圓供不應(yīng)求?

前面提到,某些產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模不大,因此透過(guò)8寸或6寸晶圓廠來(lái)生產(chǎn)較有效率,相對(duì)的某些產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模較大,因此產(chǎn)線通常都會(huì)分布在12寸晶圓廠。過(guò)去12寸晶圓廠主要拿來(lái)生產(chǎn)智能手機(jī)、筆記本電腦等有高階運(yùn)算需求的晶片,另一方面6寸、8寸晶圓廠則是用于生產(chǎn)物聯(lián)網(wǎng)、車用元件等運(yùn)算能力要求度不高的晶片。

由于過(guò)去12寸晶圓廠為市場(chǎng)主流,因此部分晶圓設(shè)備廠已經(jīng)停止生產(chǎn)8寸晶圓廠的設(shè)備,而直接蓋新的8寸廠又需要龐大的資金,對(duì)于大部分業(yè)者來(lái)說(shuō)難以負(fù)荷。外加隨著5G逐漸普及,物聯(lián)網(wǎng)相關(guān)的晶片需求提升,因此8寸晶圓市場(chǎng)近期才會(huì)供不應(yīng)求。

晶圓代工流程二:集成電路制造

回到IC制造的工作流程介紹,前面提及過(guò)去制作電路的方法,是將所有的電子元件手工連接起來(lái),而相較之下集成電路的優(yōu)勢(shì),就在于他是直接依照設(shè)計(jì)好的電路圖,一口氣將所有電子元件整合在一起。因此有個(gè)一致的標(biāo)準(zhǔn),生產(chǎn)起來(lái)容易許多。

這兩種電路制作模式的關(guān)鍵差異來(lái)自于“光學(xué)原理”。

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),集成電路制造就是將從IC設(shè)計(jì)廠拿到的“電路設(shè)計(jì)圖”透過(guò)光學(xué)成像的原理轉(zhuǎn)移到“矽晶圓”上,最后依照設(shè)計(jì)圖架構(gòu),在矽晶元上集成化所需的電子元件:

▲ 步驟1–鍍上薄膜:于矽晶片表面鍍上氧化層(或金屬)。

▲ 步驟2–涂上光阻:于薄膜表面涂上光阻劑,該光阻劑曝光后化學(xué)結(jié)構(gòu)會(huì)改變,變的相當(dāng)易溶。

▲ 步驟3–顯影:透過(guò)紫外光與凸透鏡的聚光效果,將光罩上的電路圖縮小并投影在光阻上。

▲ 步驟4–蝕刻:透過(guò)特殊化學(xué)溶液將被紫外光照射的光阻沖洗掉,接著再透過(guò)另一種化學(xué)溶液將步驟1的薄膜沖洗掉。

▲ 步驟5–光阻去除:接著最后一樣以化學(xué)溶液將光阻去除。

在光刻制程結(jié)束后,緊接著就是注入雜質(zhì)(磷原子與硼原子)到矽晶片(半導(dǎo)體)中控制其導(dǎo)電性,至此,構(gòu)成集成電路所需的電晶體及相關(guān)的元件便已依照設(shè)計(jì)好的電路圖在矽晶片上集成完畢,最后將銅倒入溝槽中形成電子接線,將數(shù)億個(gè)電晶體串接起來(lái)后,近半個(gè)世紀(jì)以來(lái)不斷推動(dòng)科技進(jìn)步的基石–集成電路便就此完成。

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