半導體是電子信息產(chǎn)品的“心臟”,在國民經(jīng) 濟和社會生活各方面的應用越來越廣泛,對國家經(jīng) 濟成長、國防安全、核心競爭力提升至關重要 , 促進了通信、計算、醫(yī)養(yǎng)健康、軍事系統(tǒng)、物流、 新能源行業(yè)的發(fā)展,引導人工智能、大數(shù)據(jù)、自動 駕駛等新產(chǎn)業(yè)的興起,支撐著數(shù)字經(jīng)濟不斷發(fā)展, 并在新冠疫情防控等重大社會問題應對方面發(fā)揮了 關鍵作用 。隨著半導體在各領域應用日趨廣泛和 深入,2020年開始半導體供應緊張局面更加凸顯 。各國正積極采取措施,增強和完善本國的半導體產(chǎn) 業(yè)鏈。
半導體產(chǎn)品主要包括集成電路、光電子器件、 分立器件和傳感器件,其中集成電路在半導體產(chǎn)業(yè) 中占比最高,超過 80%。2021 年全球集成電路銷 售額為4608.14億美元,傳感器件銷售額為187.9億 美元,光電子器件銷售額為432.29億美元,分立器 件銷售額為 301 億美元,集成電路占比達到 83%。
根據(jù)世界半導體貿易統(tǒng)計組織 (WSTS) 數(shù)據(jù) , 2022 年全球集成電路占比將達 84.22%,光電子器 件、分立器件、傳感器占比分別為 7.41%、5.10% 和3.26%。
集成電路是最重要的半導體產(chǎn)品,硅片是集成 電路最重要的基礎材料,處于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈前 端,在集成電路芯片制造材料中占比達30%以上, 90% 以上的集成電路芯片是基于硅片制成。中 國在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈中參與程度較低,硅片等關 鍵材料對外依存度較高 。近年來,大國博弈加 劇,國際政治經(jīng)濟環(huán)境惡化,地震和火山爆發(fā)等自 然災害頻發(fā),新型冠狀病毒感染等流行疾病蔓延, 產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)生變化,《關于常規(guī)武器與兩用產(chǎn)品和 技術出口控制的瓦森納協(xié)定》新增 12 in 硅片技術 管制 ,增強硅片等關鍵材料的自主保障能力,提 升我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈安全性成為重要課題。
(一)全球半導體硅片的發(fā)展現(xiàn)狀
1. 全球半導體硅片的市場規(guī)模
集成電路芯片制造材料多達數(shù)百種,按類別劃 分主要包括硅片、光掩膜、光刻膠及配套試劑、電 子氣體、工藝化學品、濺射靶材、拋光材料等,總 體采購中硅片占比始終最高。根據(jù)國際半 導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)數(shù)據(jù),2021年硅片在集成電 路芯片制造材料中的采購金額占比達到33%左右, 是最主要的關鍵功能材料,100多億美元的半導體硅 片支撐了5000多億美元的半導體產(chǎn)業(yè)規(guī)模。近年來,隨著全球半導體市場規(guī)模的持續(xù)增長, 全球半導體硅片出貨面積穩(wěn)步提升。2012年 全球半導體硅片出貨面積為 8.8×109 in2 ,2021 年突 破1.4×1010 in2 。全球半導體硅片銷售額由2012年的 87 億美元增長到 2021 年的 126 億美元,從 2018 年 開始連續(xù) 4 年超過 110 億美元。根據(jù) SEMI 統(tǒng)計, 2022 年全球半導體硅片出貨面積將增長 4.8%,達 到1.4694×1010 in2 。預計到2025年,全球半導體硅片 出貨量將增至1.649×1010 in2 。
2. 半導體硅片需求結構
近10年來,6 in及以下尺寸硅片需求基本保持 穩(wěn)定,全球半導體硅片新增需求主要集中在8 in和 12 in 硅片,尤其是 12 in 硅片增速最快(見圖 3)。12 in硅片年出貨量自2012年的5.302×109 in2 增長至 2021年的9.598×109 in2 ,其出貨面積占全部半導體硅 片比例接近70%;8 in硅片出貨面積也穩(wěn)步增長,從 2012年的2.378×109 in2 增長至2021年的3.443×109 in2 。2021 年,12 in 和 8 in 硅片出貨面積分別同比增長 12.85%和16.87%。
12 in硅片主要應用于90 nm及以下半導體制程 范圍,用于制造邏輯電路、存儲器等高集成度的芯 片,多在大計算量、大存儲量或便攜式終端上應 用,如大數(shù)據(jù)、智能手機、計算機、人工智能等領 域。8 in硅片主要應用于90 nm以上制程范圍的模擬 電路、功率芯片、互補金屬氧化物半導體(CMOS) 圖像傳感器、微控制器、射頻前端芯片、嵌入式存 儲器等芯片,應用場景包括微機電系統(tǒng)、電源管理、 汽車電子、工業(yè)控制、物聯(lián)網(wǎng)等領域。
8 in 硅片在特色芯片產(chǎn)品上擁有性價比優(yōu)勢, 尤其在微機電系統(tǒng)、硅上化合物半導體、射頻及功 率芯片等領域優(yōu)勢明顯。近年來,一些新應用場景 特色芯片會率先在8 in芯片上出現(xiàn),而后逐步向12 in 芯片轉移。預計未來8 in硅片和12 in硅片將在各自 特定領域發(fā)揮作用,長期共存。
3. 硅片產(chǎn)業(yè)集中度高的局面基本保持
半導體硅片產(chǎn)業(yè)起始于美國,美國孟山都化學 公司成立的孟山都電子材料公司曾引領技術發(fā)展, 在20世紀60年代獲得80%的市場份額。隨著半導 體制造業(yè)的東移,其后期連續(xù)虧損,孟山都化學公 司在1989年將孟山都電子材料公司出售給了德國化 工企業(yè),并于2016年被中國臺灣的環(huán)球晶圓股份有 限公司收購。20 世紀 50 年代末,日本通過技術引 進,開始布局半導體產(chǎn)業(yè),在超大規(guī)模集成電路研 究計劃的推動下,日本半導體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,其中 存儲器在20世紀80年代超過美國,硅片廠商也在 此期間獲得黃金發(fā)展期,最終經(jīng)過多次整合并購形 成信越化學工業(yè)株式會社和勝高科技株式會社兩家 國際半導體硅片巨頭,2001年信越化學工業(yè)株式會 社在全球率先量產(chǎn) 12 in 半導體硅片。日本半導體 硅片產(chǎn)業(yè)從20世紀90年代超過美國后,至今仍在全球占據(jù)主導地位。20 世紀 90 年代半導體產(chǎn)業(yè)從 日本向韓國和中國臺灣地區(qū)轉移,韓國和中國臺灣 地區(qū)硅片企業(yè)得以成長,并逐步在全球占有一席之 地。當前,日本信越化學工業(yè)株式會社、勝高科技 株式會社,中國臺灣環(huán)球晶圓股份有限公司,德國 世創(chuàng)電子材料股份有限公司,韓國SK集團等五大 廠商占據(jù)全球90%左右的市場份額,尤其是在12 in 硅片方面占據(jù)絕對市場地位。五大廠商近幾年產(chǎn)能 擴張主要集中在 12 in 硅片,2015 年,全球只有日 本信越化學工業(yè)株式會社和勝高科技株式會社的 12 in硅片月產(chǎn)能超過1×106 片,至2021年年底,前 5大廠商12 in硅片月產(chǎn)能都有顯著增加,其中日本 信越化學工業(yè)株式會社月產(chǎn)能超過3.1×106 片,勝高 科技株式會社的月產(chǎn)能約為1.9×106 片,中國臺灣環(huán) 球晶圓的月產(chǎn)能約為1.3×106 片,德國世創(chuàng)的月產(chǎn)能 約為9.9×105 片,韓國SK集團的月產(chǎn)能約為9×105 片。
4. 硅是重要的半導體材料
半導體材料經(jīng)歷了以硅為代表的第一代半導體 材料,以砷化鎵為代表的第二代半導體材料和以碳 化硅與氮化鎵為代表的第三代半導體材料 。相 比于其他半導體材料,硅材料易于制備較大尺寸晶 體、晶體結構完整性相對易控制、純度相對易實 現(xiàn),在集成電路平面工藝制程的應用技術更加成熟 且更具有規(guī)模效益,有著更大的應用領域與需求 量,因此,90%以上的芯片都是基于硅材料制造而 成,這賦予了硅材料不可替代的行業(yè)地位。但是, 硅材料也存在一定局限性,無法滿足高功率、高頻 率和高壓等苛刻特性,不具備發(fā)光特性,等二代半 導體材料、等三代半導體材料在這些方面具備獨特 優(yōu)勢。硅材料與第二代、第三代半導體材料的結合 將是一種選擇,以硅材料為襯底,化合物材料在硅 材料上外延生長制成單晶片以滿足射頻芯片和功率 器件對高頻、高壓、高功率的需求,比如硅基氮化 鎵。這幾代半導體材料并不是完全替代關系,在未 來相當長的時期內它們還將并存,并在不同的應用 領域發(fā)揮各自的作用、占據(jù)各自的市場份額 。
(二)全球半導體硅片的發(fā)展態(tài)勢
1. 全球半導體硅片產(chǎn)業(yè)東移,亞太地區(qū)成為主要的制造區(qū)域
全球半導體產(chǎn)業(yè)起源于美國,1958 年,德州 儀器設計出第一款微型電子器件(IC),至20世紀 70年代,半導體產(chǎn)業(yè)在美國完成技術積累,同樣的 硅材料產(chǎn)業(yè)也起源于美國,至20世紀80年代,全 球領先半導體硅材料企業(yè)仍是美國的孟山都電子材 料公司。隨著半導體產(chǎn)業(yè)第一次轉移到日本,互聯(lián) 網(wǎng)時代半導體轉移至韓國,日本索尼公司、韓國三 星集團等企業(yè)得到快速發(fā)展,在這個階段,日本、 韓國的硅材料產(chǎn)業(yè)逐漸興起,日本信越化學工業(yè)株 式會社、勝高科技株式會社、小松電子材料公司以 及韓國SK集團等不斷壯大。日本更是在1996年開 始布局“超級硅”計劃,期望在未來占據(jù)硅材料領 域的領先地位。進入21世紀,日本信越化學工業(yè)株 式會社率先實現(xiàn) 12 in 硅片商業(yè)化,并成為全球第 一大半導體硅材料供應商,隨后勝高科技株式會社 和小松電子材料公司合并,成為第二大半導體硅材 料供應商。目前為止,日本企業(yè)的硅材料供應能力 占全球比例過半。隨著臺灣環(huán)球晶圓股份有限公司 的壯大,韓國SK集團的擴張,以及德國世創(chuàng)電子 材料股份有限公司將 12 in 硅片產(chǎn)業(yè)重點布局在新 加坡,全球近90%的硅片產(chǎn)出分布在亞太地區(qū)。中 國近年來加大硅片產(chǎn)業(yè)的布局和投資,到 2025 年 12 in硅片規(guī)劃總產(chǎn)能超過4×106 片/月,亞太地區(qū)成 為全球半導體硅片制造的重要區(qū)域。
2. 全球半導體硅片需求持續(xù)增長
近年來,隨著數(shù)字經(jīng)濟拉動,大算力需求不斷增加,半導體在各領域的滲透日益增強,硅片需求 將保持持續(xù)增長。SEMI在2022年10月最新報告中 預計,到2025年,汽車和功率半導體的晶圓廠產(chǎn)能 以58%的速度增長,其次是微機電系統(tǒng)、代工和模 擬,其晶圓廠產(chǎn)能增長速度分別為 21%、20% 和 14%。汽車和功率半導體、微機電系統(tǒng)等領域的產(chǎn) 能擴張帶動8 in硅片需求的增長,2025年全球8 in 硅片需求預計將達到7×106 片/月 。SEMI在2022年10月報告中預計,到2025年, 12 in晶圓廠按照產(chǎn)品類型劃分的年復合增長率中, 功率器件相關產(chǎn)能增長為 39%,模擬器件為 37%、 代工為 14%、光電為 7%,存儲為 5%。到 2025 年, 全球半導體制造商 12 in 晶圓制造廠產(chǎn)能將以接近10%的年復合增長率增長,對12 in硅片的需求將達到每月9.2×106 片。
3. 海外企業(yè)積極擴產(chǎn)
全球半導體硅片供應已連續(xù)幾年處于緊張局面。為應對需求,搶占市場,全球主要硅片廠商積極擴充產(chǎn)能。德國世創(chuàng)電子材料股份有限公司在2022年 投資11億歐元,在新加坡建設 12 in 硅片廠,估算 產(chǎn)能約為3×105 片/月;韓國SK集團宣布未來3年內 將投資1.05萬億韓元擴建12 in半導體硅片廠,估算 產(chǎn)能約為2.5×105 片/月;臺灣環(huán)球晶圓股份有限公 司 2022 年 3 月發(fā)布消息,計劃在意大利新建 12 in 硅片廠,同時擬投資50億美元在美國德州新建12 in 硅片廠,最高產(chǎn)能超 1.2×106 片/月;日本勝高科技 株式會社宣布也將斥資2287億日元建設新廠,擴產(chǎn) 12 in硅片,估算產(chǎn)能將超過5×105 片/月。
預計到 2025 年海外廠商新增 12 in 硅片產(chǎn)能將 超過2×106 片/月。隨著產(chǎn)能釋放,12 in硅片供需緊 張的情況將得到有效緩解。
4. 半導體硅片技術發(fā)展趨勢
摩爾定律推動了半導體行業(yè)50 余年的快速成 長,集成電路芯片技術不斷向更先進制程發(fā)展,借 助極紫外(EUV)光刻等先進技術,正在向 3 nm 甚至更小的節(jié)點演進,但硅基集成電路工藝的發(fā)展 愈發(fā)趨近于其物理極限,單純靠縮小線寬已經(jīng)越來 越困難,半導體行業(yè)逐步進入了后摩爾時代。
后摩爾時代集成電路芯片技術發(fā)展呈現(xiàn)出兩個 主要特點:一是繼續(xù)延續(xù)摩爾定律,以集成電路制 程微細化為特征,技術上滿足更先進制程,提高集 成度和功能,同時兼顧性能及功耗。二是通過先進 封裝等手段,整合高壓功率芯片、模擬電路芯片、 射頻芯片、傳感器芯片等多種功能,實現(xiàn)器件功能 的融合和產(chǎn)品的多樣化。
后摩爾時代對半導體硅片提出更高的技術要 求,一是隨著集成電路先進制程技術的不斷發(fā)展, 對硅片的要求愈發(fā)嚴格,28 nm及以下先進制程硅 片產(chǎn)品指標全面升級,包括單晶晶體缺陷、晶體中 氧碳及摻雜物質的均勻分布、平整度等加工精密度 參數(shù)、體金屬濃度和表面金屬濃度等純度指標。指 標升級給硅片制備技術帶來巨大挑戰(zhàn),超導水平磁 場拉晶等技術采用。二是功率半導體方面正呈現(xiàn)由 8 in向12 in加速轉移,12 in硅片已用于功率半導體 領域,需要開發(fā) 12 in 重摻單晶生長技術、背面沉 積二氧化硅薄膜技術及相應的翹曲度控制技術。同 時為了解決硅材料性能的局限性,與其他材料的整 合成為重要路徑,比如結合鍵合工藝開發(fā)的絕緣體 上硅(SOI)、通過應變引入實現(xiàn)能帶調制的應變 硅、硅基氮化鎵等都已實用化,未來硅與磷化銦、 石墨烯、硫化鉬等材料的結合可能是后摩爾時代硅 材料的重要發(fā)展方向。
5. 12 in硅片為市場主流,更大尺寸硅片商業(yè)化擱置
根據(jù)過往半導體行業(yè)規(guī)律,前一代硅片變成市 場主流,支持大約40%左右芯片制造能力時,新一 代硅片將會出現(xiàn)并商業(yè)化應用。但12 in硅片之后, 這個規(guī)律被改變。2011年前,英特爾公司、三星集 團和中國臺灣積體電路制造股份有限公司等都曾 積極推動和準備以推進下一代晶圓和硅片的研發(fā)和 商業(yè)化,美國、歐盟、以色列曾分別成立 G450C、 EEMI450、Metro450,但因為投資極大、技術難度 極高、產(chǎn)品性價比等多種因素,18 in設備、硅片、 芯片均擱置,半導體產(chǎn)業(yè)沒有迎來 18 in 時代。當 前12 in硅片已占據(jù)全部硅片出貨面積比例近70%, 技術節(jié)點已經(jīng)達到3 nm,以往產(chǎn)業(yè)規(guī)律沒有延續(xù)。18 in 硅片產(chǎn)業(yè)的擱置,一方面為 12 in 硅片需 求規(guī)模持續(xù)增長提供了廣闊的空間和持久的產(chǎn)品周 期;另一方面為我國 12 in 硅片技術及產(chǎn)業(yè)發(fā)展提 供了難得的發(fā)展機遇。根據(jù)目前半導體硅片產(chǎn)業(yè)現(xiàn) 狀,我們認為,12 in硅片應用周期會延續(xù)相當長時 間,未來18 in硅片出現(xiàn)的可能性減小。
三、我國半導體硅片的發(fā)展現(xiàn)狀及發(fā)展態(tài)勢
(一)我國半導體硅片的發(fā)展現(xiàn)狀
1. 我國半導體及硅片市場
2015年至2020年,我國半導體市場規(guī)模從824億 美元增長至 1638 億美元,年均復合增長率約為 14.74%。2021 年,我國半導體市場銷售額達到 1925億美元。
從區(qū)域結構來看,中國已經(jīng)連續(xù)多年成為全球 最大的半導體消費市場,2021年中國市場占比達到 34.6%,美國、歐洲、日本和其他國家的市場份額 分別為21.9%、8.6%、7.9%和27.0%。
2021年中國集成電路全行業(yè)銷售額達到10 458億 人民幣,增幅達到19%,增速全球第一。中國作為 全球最大的半導體消費市場對國內集成電路產(chǎn)業(yè)及 半導體硅片產(chǎn)業(yè)的成長提供了市場基礎和廣闊的國 產(chǎn)替代空間。
近年來,得益于國內半導體產(chǎn)業(yè)投融資環(huán)境的 持續(xù)改善,國內半導體硅片市場需求隨著下游芯片廠的擴產(chǎn)而持續(xù)增加,2018年我國半導體硅片市 場規(guī)模為 172.1 億元,2021 年達到 250.5 億元 。根據(jù)測算,2021年國內半導體硅片市場仍 有130億元依賴進口,國產(chǎn)替代空間巨大。未來隨 著國內半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)生態(tài)的持續(xù)完善, 市場規(guī)模將進一步擴大,預計到2025年我國半導體 硅片市場規(guī)模將超過400億元人民幣。
2. 需求環(huán)境改善、配套能力顯著提升
半導體硅片的發(fā)展依賴于下游需求牽引及上游 裝備和配套材料的支撐。近年來國內產(chǎn)業(yè)鏈下游發(fā) 展迅速,設計 ? 制造 ? 封裝三業(yè)結構顯著改善。在 國際貿易沖突加劇的大背景下,下游集成電路廠商 對本地硅材料供應商認可度增強,同時得到政策鼓 勵,采購國產(chǎn)材料的意愿大大提升,國內半導體硅 片進入下游市場壁壘減小。同時,產(chǎn)業(yè)配套方面, 國內硅材料裝備制造業(yè)快速發(fā)展,單晶爐、切片 機、研磨機、清洗機等關鍵設備進入半導體硅片企 業(yè);多晶硅、石英坩堝、石墨材料、拋光液、切削 液等關鍵原輔材料進入生產(chǎn)線得到批量應用,本地 化配套能力顯著增強。目前8 in硅片生產(chǎn)所需裝備 和材料基本實現(xiàn)全面國產(chǎn)化,12 in 硅片生產(chǎn)單晶 爐、滾磨機、截斷機、中間清洗機、研磨機、倒角 機、精拋機、單片清洗機等已經(jīng)開展國產(chǎn)化應用, 多類原輔材料進入生產(chǎn)線。隨著制造裝備及原 輔材料的國產(chǎn)化,國內半導體硅片產(chǎn)業(yè)的投資成 本、制造成本有望持續(xù)下降,產(chǎn)品競爭能力逐步 增強。
3. 硅片制造關鍵技術取得重大進展
近年來,我國半導體硅片行業(yè)在加快產(chǎn)能建設 的同時,12 in硅片關鍵技術研發(fā)取得了長足進步。在國家重大專項的持續(xù)支持下,上海硅產(chǎn)業(yè)集團股 份有限公司實現(xiàn)了面向先進制程工藝節(jié)點應用的 12 in硅片批量供應,成功研發(fā)出19 nm動態(tài)隨機存 取存儲器(DRAM)用 12 in 硅片,取得突破性進 展。TCL 中環(huán)新能源科技股份有限公司在 12 in 硅 片關鍵技術、產(chǎn)品性能質量提升方面取得重大突 破,已量產(chǎn)供應國內主要邏輯芯片、存儲芯片生產(chǎn) 商。西安奕斯偉硅片技術有限公司研發(fā)出14 nm及 以下集成電路先進制程使用的 12 in 硅片,應用于 邏輯芯片、閃存芯片、動態(tài)隨機存儲芯片、圖像傳 感器、顯示驅動芯片等領域。有研半導體硅材料股 份公司建立 12 in 硅片研發(fā)中心,超導磁場下單晶 生長技術取得突破,硅片加工技術穩(wěn)定,滿足先進 制程工藝節(jié)點的需要,產(chǎn)品批量進入市場。在各企 業(yè)高強度研發(fā)投入下,目前國內成熟制程、功率半 導體硅片技術可以支撐批量生產(chǎn),滿足下游需要, 先進制程硅片技術正在加速突破。
(二)我國半導體硅片的發(fā)展態(tài)勢
1. 我國半導體硅片市場需求將保持增長
根據(jù) SEMI 統(tǒng)計,2021 年我國 8 in 晶圓產(chǎn)能占 全球的比例為18%,2022年達到21%,預計2025年 我國8 in晶圓產(chǎn)能增長將達66%,領先全球,產(chǎn)能 將達到1.8×106 片/月 。2021年我國12 in晶圓廠的 全球產(chǎn)能份額為19%,預計到2025年將增至23%, 達到2.3×106 片/月?;谖覈雽w市場的現(xiàn)實需求,以及當前貿易 摩擦下建設自主可控半導體產(chǎn)業(yè)鏈的迫切需要,中國 發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè)鏈的決心更為堅定。截至2022年年 底,在建及運行的12 in芯片廠產(chǎn)能超過1.7×106 片/月 (見表2),晶圓廠產(chǎn)能建設保持強勁增長。下游8 in、12 in晶圓廠產(chǎn)能的擴充疊加國產(chǎn)替 代的現(xiàn)實需要,將拉動國產(chǎn)半導體硅片需求的快速 增長。
2. 我國產(chǎn)業(yè)政策支持硅片產(chǎn)業(yè)發(fā)展
近年來,在國家高度重視下,工業(yè)和信息化 部、科學技術部等部門陸續(xù)出臺發(fā)布了半導體硅片 研發(fā)、稅收優(yōu)惠與產(chǎn)業(yè)化系列政策,將半導體硅片 產(chǎn)業(yè)納入集成電路整體產(chǎn)業(yè)支持中。2020年頒布的 《關于促成集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展企 業(yè)所得稅政策的公告》中規(guī)定:國家鼓勵的集成電 路設計、裝備、材料、封裝、測試企業(yè)和軟件企 業(yè),自獲利年度起,第一年至第二年免征企業(yè)所得稅,第三年至第五年按照25%的法定稅率減半征收 企業(yè)所得稅。2020年頒布的《財政部 海關總署 稅 務總局關于支持集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展進口 稅收政策的通知》中規(guī)定:集成電路用光刻膠、掩 模版、8 in及以上硅片生產(chǎn)企業(yè),進口國內不能生 產(chǎn)或性能不能滿足需求的凈化室專用建筑材料、配 套系統(tǒng)和生產(chǎn)設備(包括進口設備和國產(chǎn)設備)零 配件,免征進口稅。上述政策極大地鼓舞了相關企 業(yè)加快發(fā)展、積極參與國際競爭。
3. 硅片企業(yè)投資力度空前、產(chǎn)能建設加快
近年來,國家成立了集成電路產(chǎn)業(yè)基金,資本 市場推出科創(chuàng)板,地方及社會資本積極參與,集成 電路產(chǎn)業(yè)融資渠道暢通,半導體硅片企業(yè)融資難問 題得到有效解決。上海硅產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司、 浙江立昂微電子股份有限公司、有研半導體硅材料 股份公司登陸資本市場,募集資金發(fā)展半導體硅片 產(chǎn)業(yè)。西安奕斯偉硅片技術有限公司、杭州中欣晶圓半導體股份有限公司等取得社會資本支持,同時積極爭取科創(chuàng)板上市。在資本的強力支持下,國內 半導體硅片骨干企業(yè)得到了快速發(fā)展,形成了相當 好的產(chǎn)業(yè)基礎,對國內半導體產(chǎn)業(yè)的支撐保障能力 顯著增強。
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