《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》8日訊,默克公司宣布與美光科技合作開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體工藝、能降低全球變暖趨勢(shì)的氣體解決方案。默克表示,經(jīng)過(guò)一年的持續(xù)合作,美光科技目前正在測(cè)試默克研發(fā)部門(mén)提供的低GWP替代性蝕刻氣體,以驗(yàn)證其制程性能,從而取代傳統(tǒng)的高GWP材料,目標(biāo)在半導(dǎo)體制程中導(dǎo)入全新且更具可持續(xù)性的氣體解決方案。
聲明:本文版權(quán)歸原作者所有,轉(zhuǎn)發(fā)僅為更大范圍傳播,若有異議請(qǐng)聯(lián)系我們修改或刪除:zhangkai@cgbtek.com