東方晶源微電子科技(北京)有限公司(以下簡稱“東方晶源”)發(fā)布首款基于云端的EDA計算光刻平臺——AeroHPO全流程協(xié)同優(yōu)化系統(tǒng),成為國產(chǎn)EDA和一體化良率解決方案“云”部署先行者。該系統(tǒng)沿用東方晶源自主研發(fā)、全球率先工程應(yīng)用的“全芯片反向光刻掩模優(yōu)化(ILT)”技術(shù),同時依托于公有云平臺,可為客戶提供28nm及以下技術(shù)節(jié)點的制程建模、基于ILT的掩模優(yōu)化、設(shè)計規(guī)則與掩模規(guī)則檢查(DRC/MRC)、光源掩模聯(lián)合優(yōu)化(IRO)、嚴格物理光刻仿真、DPT 版圖拆分及光刻性能檢查(LRC)等全產(chǎn)品線功能與服務(wù)。AeroHPO是東方晶源現(xiàn)有基于私有計算集群的計算光刻解決方案的有力補充,該系統(tǒng)在易獲得性和靈活的收費方式等方面具有顯著優(yōu)勢,可為高校和科研院所等提供便捷的EDA和計算光刻教學與科研平臺,同時也為中小型芯片設(shè)計與制造企業(yè)提供更為經(jīng)濟和靈活的解決方案。
東方晶源的AeroHPO全流程協(xié)同優(yōu)化系統(tǒng),不僅解決了掩模優(yōu)化設(shè)計問題,而且具有上游EDA工具以及下游缺陷分析和良率控制系統(tǒng)的可擴展性和兼容性,提供了從芯片設(shè)計到制造一體化的DTCO綜合平臺。截至目前,該系統(tǒng)已經(jīng)在合作伙伴北京超級云、華為云和騰訊云等公有云上完成測試。AeroHPO的上線,將進一步完善國產(chǎn)EDA解決方案,加速國產(chǎn)替代,并實現(xiàn)超越。
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